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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:10

题名/责任者:
等离子体放电与材料工艺原理/(美) Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 蒲以康等译
出版发行项:
北京:电子工业出版社,2018
ISBN及定价:
978-7-121-28022-1/CNY128.00
载体形态项:
XXVIII, 536页:图;26cm
统一题名:
Principles of plasma discharges and materials processing
丛编项:
经典译丛.微电子学
个人责任者:
力伯曼 (Lieberman, Michael A.)
个人责任者:
里登伯格 (Lichtenberg, Allan J.)
个人次要责任者:
蒲以康
学科主题:
等离子体-放电
中图法分类号:
O53
中图法分类号:
O461
版本附注:
据原书第2版译出
出版发行附注:
由John Wiley & Sons公司授权出版
责任者附注:
Lieberman规范汉译姓: 力伯曼 Lichtenberg规范汉译姓: 里登伯格
书目附注:
有书目 (第520-531页)
提要文摘附注:
全书共18章, 内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体, 以及气体放电的动理论等。
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 还书位置
O53/3 1846641   自然科学书库-四楼西北     可借 自然科学书库-四楼西北
O53/3 1846642   自然科学书库-四楼西北     可借 自然科学书库-四楼西北
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