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题名/责任者:

微机电系统(MEMS):元器件、电路及系统集成技术和应用/(美)维卡斯·乔杜里,(加)克日会托夫·印纽斯基主编 周海宪,程云芳,周华伟等译

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2020

ISBN及定价:

978-7-111-64958-8/CNY139.00

载体形态项:

XXIII,383页:图;26cm

并列正题名:

Mems

其它题名:

元器件、电路及系统集成技术和应用

丛编项:

微纳机电系统先进技术研究与应用丛书

个人责任者:

(美) 乔杜里 (Choudhary, Vikas) 主编

个人责任者:

(加) 印纽斯基 (Iniewski, Krzysztof) 主编

个人次要责任者:

周海宪 译

个人次要责任者:

程云芳 译

个人次要责任者:

周华伟 译

学科主题:

微机电系统-研究

中图法分类号:

TH-39

相关题名附注:

书名原文取自版权页:Mems

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书共19章,分为两大部分:第1~9章为突破性技术部分,讨论各类新型微机电系统(MEMS)器件;第10-19章属应用部分,详细阐述以MEMS为基础的各种新颖的应用。本书各章都具有完整性,既可以单独阅读,也可与其他章节连贯阅读。 本书可供智能系统、军事、航空航天、消费电子、可穿戴设备、智能家居、系统生物技术的合成生物学与微流控技术等领域从事相关MEMS传感器、芯片及系统应用工作的工程师和设计师阅读,也可用作大专院校相关专业本科生、研究生和教师的参考书。

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