MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：9
- 题名/责任者:
- 精密微电子封装装备的设计理论与系统开发/陈新[等]著
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2019
- ISBN及定价:
- 978-7-111-61515-6/CNY68.00
- 载体形态项:
- 210页:图，照片;26cm
- 个人责任者:
- 陈新 著
- 学科主题:
- 微电子技术-封装工艺
- 中图法分类号:
- TN05
- 题名责任附注:
- 著者还有：高健、敖银辉、王晓初
- 提要文摘附注:
- 本书系统地介绍了精密微电子封装装备的设计理论、控制技术及系统开发。全书共八章，内容包括：微电子制造封装装备概述、微电子封装装备执行机构的设计与优化、高速运动控制与运动规划的集成设计方法等。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN05/19 | 1692540 |  自然科学书库-四楼西北
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可借 | 自然科学书库-四楼西北 | |
| TN05/19 | 1692541 | 自然科学书库-四楼西北
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可借 | 自然科学书库-四楼西北 | |
| TN05/19 | 1692542 | 自然科学书库-四楼西北
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可借 | 自然科学书库-四楼西北 |
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