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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:13

题名/责任者:
微机电系统及工程应用/莫锦秋,梁庆华,王石刚编著
出版发行项:
北京:化学工业出版社,2015
ISBN及定价:
978-7-122-23883-2/CNY58.00
载体形态项:
191页:图;26cm
丛编项:
现代机电一体化技术丛书
个人责任者:
莫锦秋 编著
个人责任者:
梁庆华 编著
个人责任者:
王石刚 编著
学科主题:
微电机
中图法分类号:
TM38
提要文摘附注:
本书主要从普及的角度介绍了微机电系统及其相关技术的应用。全书共12章,分别对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了深入浅出、通俗易懂的介绍。
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