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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:18

题名/责任者:
现代集成电路制造技术原理与实践/李惠军
出版发行项:
北京:电子工业出版社,2009.5
ISBN及定价:
978-7-121-07753-1/CNY49
载体形态项:
435页;16开
个人责任者:
李惠军
中图法分类号:
TN405
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